XR-F001微型氣體質量流量計是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列的傳感器均采用先進的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低，易安裝，不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計。